Vakuummanipulatoren werden zum Bewegen oder Positionieren von Wafern oder Gegenständen in speziellen Vakuumkammern und für Materialhandhabungsanwendungen verwendet. Sie bieten eine erhöhte Flexibilität, da keine starren Verbindungen verwendet werden. Einige Vakuummanipulatoren umfassen Montagevorrichtungen oder Endeffektoren. Andere umfassen Ladeschlösser und Wackelstäbe. Vakuummanipulatoren werden häufig in Verbindung mit Vakuumkammern eingesetzt. Wafer-Handler oder Roboter sind automatisierte Vakuummanipulatoren zum Bewegen von Wafern oder Substraten in oder aus PVD-, CVD-, Plasmaätz- oder anderen Vakuumverarbeitungskammern. Um eine Vakuumkammer zu erzeugen, pumpt ein Vakuummotor oder In-Vakuum-Motor die Luft physisch aus dem Gefäß, bis der gewünschte Unterdruck erreicht ist. Wenn die Vakuumkammer ein Ultrahochvakuum enthält, müssen ein Ultrahochvakuum-Manipulator und ein Ultrahochvakuummotor verwendet werden.
1. Das einzigartige Design des Saugers kann das Objekt nach Belieben heben oder senken, sich aber auch in jede Richtung des festen Sitzes des Saugers drehen, um die Bedienung bequem und genau zu machen. Das Design der Fernbedienung erleichtert die Bedienung und gewährleistet die Sicherheit der Benutzer.
2. Die Klemme der Vakuumsaugmaschine verwendet eine importierte Saugplatte mit starker Adsorptionskraft, hoher Sicherheit und Schutz der Produkte vor Beschädigungen.
3. Der Vakuumkran kann problemlos Gegenstände mit zerbrechlicher, schwer zu hebender und glatter Oberfläche transportieren, um die Effizienz zu verbessern, den Arbeitsaufwand zu reduzieren und Unternehmenskosten zu sparen.